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发布时间:2022-04-29 04:33:00 作者:卓宇泰
无尘室内的气流是左右无尘室性能的重要因素,一般无尘室的气流速度是选0.25~0.5m/s之间,此气流速度属微风区域,易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可抑制此一扰乱之影响而保持洁净度、但因风速的提高,将影响运转成本的增加,所以应在满足要求的洁净度水准之时,能以适当的风速供应,以达到适当的风速供应以达到经济性效果。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。
在电子元件制品的制造过程中,微粒子污染对成品率有重大影响,故应在过程中严格控制微粒子的数量,遵守“不携入、不发生、不储备、除去”四项基本原则以防止微粒子污染。
无尘室内的浮游微粒子浓度,使用的过滤器即可容易达到零水平,实际的生产现场由于作业者、机器、周边机械的发尘及基板运送时所接触的零件材料的发尘等,在制造品周边扬起了少许的微粒子,因而造成了元件清洁面的粒子污染。
洁净室(无尘室)吸尘器的主要组成:
大扒头:当清扫地面面积较大时,使用大扒头可有效快速的提高工作效率。
小扒头:清扫面积相对较小时,小扒头可方便快捷的扫除工作台底部的灰尘和颗粒。
圆毛刷:工作范围主要集中在工作台台面,清楚工作台面细微的小颗粒
伸缩杆:增大清扫范围领域。
软管:机器正常工作时,吸收的小颗粒,灰尘,杂物,经过吸口有软管传递到过滤系统。
集尘袋:洁净室吸尘器的过滤系统,也是为重要的环节,收集人眼能分辨的小颗粒,对保护马达和过滤器有重要作用。
电源开关:控制吸尘器的启动和关闭。
过滤器:过滤器是吸尘器的第四大过滤系统,也是后一个环节,过滤器能过滤0.012um的小颗粒,过滤之后的空气达到100级以上。
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