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发布时间:2022-05-18 13:25:00 作者:卓宇泰
无尘室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘室。
每立方米将大于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。搬迁设备时为免破坏地板支架及地板表面,必须事先于地板上铺设已清洁过的不锈钢板,作为辅助。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
无尘室内的气流是左右无尘室性能的重要因素,一般无尘室的气流速度是选0.25~0.5m/s之间,此气流速度属微风区域,易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可抑制此一扰乱之影响而保持洁净度、但因风速的提高,将影响运转成本的增加,所以应在满足要求的洁净度水准之时,能以适当的风速供应,以达到适当的风速供应以达到经济性效果。人,动态发菌量一般不超过1000个/min/人,以此作为计算依据是可行的。
简易无尘室是一种可提供局部高洁净环境的空气净化设备。简易无尘室主要由箱体、风机、初效空气过滤器、阻尼层、灯具等组成,外壳喷塑。
产品配制
1.框架:以工业铝材(或不锈钢方通、铁方通喷塑)作为框架稳固、美观、不生锈、不产尘;
2.防静电垂帘:四周围用防静电垂帘(或钢化玻璃),防静电效果好、透明度高、网格清晰、柔韧度好、不变形、不易老化;
3.风机滤网机组FFU:,采用离心风机,内部净化级别可达100-100K级;
4.内部采用净化室净化灯,不产尘;
(1)FFU用于老建筑物改造成洁净室时,其综合经济性一般往往可取。
(2)洁净度要求严的洁净室,末级过滤器满布率时,对大的系统采用FFU,当前还是不经济的;对小系统有意义作具体比较。
(3)对洁净度要求不甚严的洁净室,末级过滤器满布率≤40%时对大系统综合经济性往往相差不多,但对IC工厂而言FFU系统的灵活性是重要的,因此当前IC工厂对过滤器满布率≤40%时,采用FFU系统已经普遍。
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