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发布时间:2020-07-29 23:05:00 作者:卓宇泰
无尘室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。但是需注明是滤网风速测量(滤网表面)或是无尘室室内风速测量(工作高度)。控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。
洁净厂房无尘室测试目的是什么呢?其中很大部分业主都是根据净化工程开始的设想来完成测试的指标,当然这是直截了当的目标及方法,毕竟我们在建设无尘室的意愿也是如此,要达到我们的空气洁净度有需求。在单流向型无尘室,风速测量的位置可由业主预定,一般是在滤网表面或是工作高度。另外若系统停止运转再重启,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。但是需注明是滤网风速测量(滤网表面)或是无尘室室内风速测量(工作高度)。洁净厂房,无尘室,洁净室--洁净厂房无尘室测试目的。
无尘室内的气流是左右无尘室性能的重要因素,一般无尘室的气流速度是选0.25~0.5m/s之间,此气流速度属微风区域,易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可抑制此一扰乱之影响而保持洁净度、但因风速的提高,将影响运转成本的增加,所以应在满足要求的洁净度水准之时,能以适当的风速供应,以达到适当的风速供应以达到经济性效果。无尘室内的气流是左右无尘室性能的重要因素,一般无尘室的气流速度是选0。
除了人员进出洁净室须予以规范管理外,原材料及设备进出也必须经过洁净程序,方不至于影响洁净室洁净度。其进洁净室流程如表8-4所示。控制气流可防止微粒子累积,但对于带电表面的微粒累积就无法防止。至于搬出则反向而行,但不须经洗涤程序。原材料及设备进出用洁净室为洁净室等级1000或10,000级房间,工作人员于其室内清洁设备或原材料时必须穿着清洁衣服,所使用擦拭纸为无尘纸或不会脱落纤毛无尘布,清洁剂除了使用超纯水之外,并加入3~5%浓度的IPA或化学品,以增强去污能力,由于IPA具挥发性故此房间排气效果须特别考虑。搬迁设备时为免破坏地板支架及地板表面,必须事先于地板上铺设已清洁过的不锈钢板,作为辅助。
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