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     复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。无尘室中须全程穿戴密闭式安全帽及佩戴附有filter的排气用小型fan于腰间。⑴洁净隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。

    生物无尘室主要控制有生命微粒与无生命微粒（尘埃）对工作对象的污染。5m/s之速度，气流则较均一，（21世纪80、90年代）一般无尘室，其风速均取在0。又可分为；A、 一般生物无尘室，主要控制微生物对象的污染。同时其内部材料要能经受各种灭菌剂侵蚀，内部一般保证正压。实质上其内部材料要能经受各种灭菌处理的工业无尘室。例：制药工业、医院（手术室、无菌病房）食品、化妆品、饮料产品生产、动物实验室、理化检验室、血站等。B、 生物学安全无尘室：主要控制工作对象的有生命微粒对外界和人的污染。内部要保持与大气的负压。例：生物学、洁净实验室、物物工程（重组基因）。

分析国外试验资料可以认为

   ⑴ 无尘室内当工作人员穿无菌服时：静止时的发菌量一般为10-300个/min.人躯体一般活动时的发菌量为 150-1000个/min.人快步行走时的发菌量为 900-2500个/min.人

   ⑵ 咳嗽一次一般为 70~700个/ min.人喷嚏一次一般为 4000~62000个/ min.人

   ⑶ 穿平常衣服时发菌量 3300~62000个/ min.人

   ⑷ 无口罩发菌量：有口罩发菌量 1:7~1:14

   ⑸ 发菌量：发尘量 1:500~1:1000 据国内事例：

   ⑹ 手术中人员发菌量 878个/ min.人

  所以，可知无尘室内无菌衣人员的静态发菌量一般不超过300个/ min.人，动态发菌量一般不超过1000个/ min/人，以此作为计算依据是可行的。

    无尘洁净室中的三尘。无尘洁净室有三大原则：禁尘、带尘、产尘。小扒头：清扫面积相对较小时，小扒头可方便快捷的扫除工作台底部的灰尘和颗粒。风淋室作为进入洁净室的缓冲通道之一，是控制带尘的好净化设备之一，它可以大限度地减少员工进出无尘洁净室所带来的污染问题。风淋室的两道门电子互锁，可以兼起气闸室的作用，阻止外界污染和未被净化的空气进入无尘洁净区域，达到生产车间所要求的生产洁净环境。