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发布时间:2021-10-02 01:47:00 作者:卓宇泰
无尘室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘室。
每立方米将大于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。因物品在移动时,所产生的摩擦及接触剥离会造成发尘,而物品在移动时也会有微粒子的发生。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
无尘室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。 单流向型无尘室,很多都是设计成垂直层流,因此风速均匀度非常重要,只有均匀的垂直层流,才能有效排除微粒污染。室内维护结构表面发尘量,以地面为准,大约相应8平方米地面时的表面发尘量与一个静止的人的发尘量相当。非单流向型无尘室,由于微粒控制的观念是稀释,不是立即排除,一般而言其换气量远比风速重要,因此多只需要测量风量。
简易无尘室是一种可提供局部高洁净环境的空气净化设备。简易无尘室主要由箱体、风机、初效空气过滤器、阻尼层、灯具等组成,外壳喷塑。
产品配制
1.框架:以工业铝材(或不锈钢方通、铁方通喷塑)作为框架稳固、美观、不生锈、不产尘;
2.防静电垂帘:四周围用防静电垂帘(或钢化玻璃),防静电效果好、透明度高、网格清晰、柔韧度好、不变形、不易老化;
3.风机滤网机组FFU:,采用离心风机,内部净化级别可达100-100K级;
4.内部采用净化室净化灯,不产尘;
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