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发布时间:2021-12-10 04:53:00 作者:卓宇泰
无尘室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘室。
每立方米将大于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。对于穿着的洁净服,建议每周更换一到两次,或者只要衣服一脏就立即更换。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
并装局部无尘室(Clean Spot):将无尘室等级10,000~100,000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。洁净工作台:等级Class 1~100级。洁净室用鞋要合脚且穿起来舒适为基本条件,容易洗涤,底则采用塑胶底,布质部分则采用与洁净衣相同材质即可,鞋子穿着时洁净衣脚跟部分应完全塞入紧密包着。洁净工作棚:为在乱流式之无尘室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高之洁净空间,其等级为10~1000级,高度在2.5米左右,覆盖面积约10m2以下,四支支柱并加装活动轮,可为弹性运用。
无尘洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计建成的无尘洁净房间。
无尘洁净室的原理。洁净室是利用HEPA、空气净化设备,其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多,因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而无尘室内除了人以外,尚有机器等之发尘源,这些发生的尘埃一旦扩散,即无法保持洁净空间,因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。然而洁净室内除了人以外,尚有机器等之发尘源,这些发生的尘埃一旦扩散,即无法保持洁净空间,因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。
洁净室(无尘室)吸尘器的主要组成:
大扒头:当清扫地面面积较大时,使用大扒头可有效快速的提高工作效率。
小扒头:清扫面积相对较小时,小扒头可方便快捷的扫除工作台底部的灰尘和颗粒。
圆毛刷:工作范围主要集中在工作台台面,清楚工作台面细微的小颗粒
伸缩杆:增大清扫范围领域。
软管:机器正常工作时,吸收的小颗粒,灰尘,杂物,经过吸口有软管传递到过滤系统。
集尘袋:洁净室吸尘器的过滤系统,也是为重要的环节,收集人眼能分辨的小颗粒,对保护马达和过滤器有重要作用。
电源开关:控制吸尘器的启动和关闭。
过滤器:过滤器是吸尘器的第四大过滤系统,也是后一个环节,过滤器能过滤0.012um的小颗粒,过滤之后的空气达到100级以上。
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