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发布时间:2022-01-12 07:07:00 作者:卓宇泰
空气由空调箱经风管与无尘室内之空气过滤器(HEPA)进入无尘室,并由无尘室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。乱流无尘室靠送风气流不断稀释室内空气,将污染空气逐渐稀释,来实现洁净的。特别要保证气流的流通路径畅通无阻,因为在流通路径中有障碍物的话,容易产生空气空气涡流而形成空气的滞留区域,使得附近已发生的微粒子无法快速排除而长时间漂流在无尘室内,而一部分会附着在周边机器设备的表面而引起污染。气次数决定定义中的净化级别(换气次数越多,净化级别越高)。此型式适用于无尘室等级1,000-100,000级。
影响无尘室的气流因素很多,如制程设备、人员、无尘室组装材、照明器具等,同时对于生产设备上方气流的分流点,亦应列入考虑因素。一般操作台或生产设备等表面的气流分流点,应设于无尘室空间与隔墙板间距2/3之处,如此可使作业人员工作时,气流可从制程区内部流向作业区,而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方,将成为不当的气流分流,此时大部分的气流将流至制程区之后,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面,工作台因而将受到污染,良率也势必降低。A、材质:棉质发尘量大,以下依次为棉、的确良、去静电纯涤纶、尼龙。
无尘室内防止微粒子污染的基本原则:
不发生
在控制大污染源--人在无尘室内的微粒子发尘量的同时,也应控制第二大污染源—制造机台的发尘量。因物品在移动时,所产生的摩擦及接触剥离会造成发尘,而物品在移动时也会有微粒子的发生。故为了控制发尘量达到小限度应采取以下对策:
减少接触剥离发尘的动作形态;
采用磨耗发尘小的材质;
采用发尘小的润滑油;
机台应用空压浮上的非接触化工作原理。
对于穿着的洁净服,建议每周更换一到两次,或者只要衣服一脏就立即更换。各家公司在这个程序上的规定也不一样。必须时刻遵守着装程序。衣服不得与地板接触。与地板接触会污染衣服。如果需要戴手套,必须使用洁净室的无粉乳胶手套或者胶手套。无尘室中不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。因为有的人对乳胶中的蛋白质过敏,如果因使用了无粉乳胶手套而造成手部出现红点,建议改用胶手套。一旦手套褪色或者有破洞必须马上更换,但不能在洁净室里更换,只能在更衣室里更换手套。不要随便拉拽手套和猛地脱下手套,应该慢慢地把手套从手上退下来。
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